在邏輯集成電路製造環節，公司開發的12英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶最先進的生產線上並用於5納米、總經理尹誌堯3月19日在2023年度業績說明會上表示，5納米以下器件中若幹關鍵步驟的加工；同時，
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